Àwo ìfọṣọ wafer seramiki 99.7% alumina fun CMP

Chemshunàwo ìfọṣọ alumina wafer/Tan tabili naa ni a fi mimọ giga 99.7-99.9% alumina ṣe. Seramiki alumina ti o ni mimọ giga ni o ni agbara lile ati resistance ti o tayọ fun didan wafer ati pe o ṣetọju apẹrẹ oju ilẹ ti o dara fun igba pipẹ. PIBM ni a ṣe apẹrẹ rẹ. O jẹ ọmọ ẹgbẹ ti ile-iṣẹ semiconductor nitori iduroṣinṣin ooru ati iwọn rẹ ti ko ni afiwe ati resistance si awọn agbegbe ẹrọ iṣiṣẹ microchip ti o lagbara.

Pílánẹ́ẹ̀tì Kẹ́míkà-Ẹ̀rọ (CMP), tí a tún mọ̀ sí Pílánẹ́ẹ̀tì Kẹ́míkà-Ẹ̀rọ, ó jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ kan nínú iṣẹ́ ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ semikondokitọ̀. Ó ń lo ipata kẹ́míkà àti agbára ẹ̀rọ láti fi àwọn ohun èlò silicon tàbí àwọn ohun èlò mìíràn tí a fi so mọ́ ara wọn nígbà tí a bá ń ṣe é.

A pín ohun èlò CMP sí apá méjì pàtàkì: apá dídán àti apá mímọ́. Apá dídán náà ní apá mẹ́rin, èyí ni àwọn tábìlì dídán mẹ́ta àti module gbígbé àti ṣíṣí sílẹ̀ fún wafer. Apá dídán náà ló ń ṣe iṣẹ́ mímọ́ àti gbígbẹ wafer náà kí ó lè “gbẹ nínú àti gbẹ” wafer náà. Nínú gbogbo ohun èlò dídán, àwọn ohun èlò dídán alumina ń ṣe ipa pàtàkì.

A sábà máa ń lo àwọn ohun èlò amúlétutù alumina láti pèsè àwọn díìsì ìpara wafer, èyí tí ó nílò ìwẹ̀nùmọ́ gíga, agbára kẹ́míkà gíga, àti ìṣàkóso dídára lórí ìrísí ojú àti àìlágbára.

A fi àwọn ohun èlò seramiki tó ti pẹ́ ṣe àwo ìlọsíwájú Chemshun 99.7% Al2O3 seramiki, èyí tó dára fún lílọ díẹ̀díẹ̀ láti inú onírúurú ohun èlò, pàápàá jùlọ fún lílọ àwọn ohun èlò tó ń jábọ́ bíi wafers, seramiki àti gilasi. A lè ṣe àwo ìlọsíwájú seramiki wa sí oríṣiríṣi ìwọ̀n gẹ́gẹ́ bí onírúurú àwọn ohun èlò lílọ àti dídán.